本发明涉及一种制备单晶硅纳米结构的方法,属于纳米加工技术领域。该方法利用硅材料的各向异性腐蚀特性,通过在制作腐蚀窗口时引入晶向偏转角,实现用大线宽腐蚀窗口在单晶硅各项异性湿法腐蚀后直接形成单晶硅纳米结构。本发明中的偏转角通过掩膜版上的晶向对准标记可实现精确控制,整个工艺过程简单高效,可实现大规模制做,是一种方便的微纳集成工艺技术。本发明制作的纳米结构,可用于研究低维单晶硅材料结构性质,包括力学、热学、电学等性能的研究,还可以作为传感器功能结构部件,具有应用前景。
主体资格 | 转让方提供 | 受让方提供 | 平台提供 | 转让完成,可获得 |
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自然人 | 身份证复印件,专利证书原件; | 身份证复印件 有效个体营业执照 |
转让申请书 代理委托书 转让协议书 发明人变更声明 |
专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 |
公司 | 有效的企业营业执照副本复印件,专利证书原件 | 有效的企业营业执照副本复印件;企业组织机构代码证 | ||
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