一种体硅可调谐光学滤波器由体硅调谐腔,高掺杂的体硅电阻加热器,下悬臂梁、上悬臂梁,表面高掺杂的左悬臂梁、表面高掺杂的右悬臂梁,金属导线、应力平衡金属导线、左引线区域,右引线区域和支撑SOI硅基底11构成。其采用高电阻率的SOI硅片并利用体硅加工工艺制作获得。包括:(a)SOI硅片器件层表面制作高掺杂区域;(b)硅片器件层表面溅射金属并制作金属结构;(c)硅片器件层表面制作体硅调谐腔和各悬臂梁结构;(d)从硅片下表面衬底层释放体硅调谐腔及悬臂梁结构;(e)在体硅调谐腔上下表面制作高反射膜,形成光学F-P干涉腔体。所制作的该滤波器具有很好的光学性能,且工艺制作简单,结构可靠性高。
| 主体资格 | 转让方提供 | 受让方提供 | 平台提供 | 转让完成，可获得 |
|---|---|---|---|---|
| 自然人 | 身份证复印件，专利证书原件； | 身份证复印件 有效个体营业执照 |
转让申请书 代理委托书 转让协议书 发明人变更声明 |
专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 |
| 公司 | 有效的企业营业执照副本复印件，专利证书原件 | 有效的企业营业执照副本复印件；企业组织机构代码证 | ||
| 平台专属代理事务所将对委托交易全程监督，确保所有交易合同及相关文件合法有效。 | ||||
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