本发明提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法,包括在谐振式微悬臂梁上以光刻胶为牺牲层,光刻形成环状凹槽;沉积疏水材料,在环状凹槽中形成疏水侧壁作为敏感池,其余部分形成疏水薄膜;通过刻蚀图形化疏水材料,在疏水侧壁的外侧与疏水薄膜之间形成狭缝;从背面划片,去除光刻胶释放器件结构;将敏感材料注入敏感池结构中并固化形成液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器。本发明利用聚对二甲苯薄膜保护谐振式微悬臂梁,狭缝结构有效防止液体进入聚对二甲苯薄膜下方接触微悬臂梁,从而使得工作时,微悬臂梁上仅敏感区域接触待测液体样品,其余部分均工作在空气环境下,从而大大减小了阻尼,提高了传感器的品质因数和灵敏度。
主体资格 | 转让方提供 | 受让方提供 | 平台提供 | 转让完成,可获得 |
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自然人 | 身份证复印件,专利证书原件; | 身份证复印件 有效个体营业执照 |
转让申请书 代理委托书 转让协议书 发明人变更声明 |
专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 |
公司 | 有效的企业营业执照副本复印件,专利证书原件 | 有效的企业营业执照副本复印件;企业组织机构代码证 | ||
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