本实用新型提供一种基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器,包括:微加热器平台衬底及硫掺杂石墨烯;所述微加热器平台衬底上设有测试电极及加热器;所述硫掺杂石墨烯至少覆盖所述测试电极。本实用新型的基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器可采用圆片级衬底,实现圆片级制备,达到批量制造的水平,大大降低生产成本;本实用新型的基于硫掺杂石墨烯的氮氧化物气体传感器对氮氧化物气体分子具有较高的灵敏度和选择性,可有效降低水蒸气等其它气体对检测的影响,提高检测的精确度。
主体资格 | 转让方提供 | 受让方提供 | 平台提供 | 转让完成,可获得 |
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自然人 | 身份证复印件,专利证书原件; | 身份证复印件 有效个体营业执照 |
转让申请书 代理委托书 转让协议书 发明人变更声明 |
专利证书 手续合格通知书 专利登记簿副本 |
公司 | 有效的企业营业执照副本复印件,专利证书原件 | 有效的企业营业执照副本复印件;企业组织机构代码证 | ||
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